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基本信息:
砷化三氫 純度:99.9999%
中文名:砷化三氫
別 名:砷化三氫;三氫化砷
英文名:arsine
分子式:AsH3
物化性質:
砷烷在室溫和大氣壓下是一種無色、劇毒、可燃氣體,有大蒜氣味.與空氣混合形成可燃混合氣。砷烷微溶于水和有機溶劑,易與高錳酸鉀、溴和次氯酸鈉等起反應生成砷的化合物。砷烷在室溫下穩定,在230-240℃下開始分解。砷烷是一種溶血性毒物,可中毒神經。 用 途: 砷烷用于半導體工業中外延硅的“N”型摻雜,硅中“N”型擴散,離子注入,生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與Ⅲ/V族元素形成的化合物半導體。 工業上生產的砷烷用于有機合成。
集成電路,太陽能電池等。
包裝標志:有毒氣體。
副標志:易燃氣體。砷烷無腐蝕性,因此大部分市售材料均可用。但是,由于砷烷主要用于半導體工業,因此推薦采用不銹鋼材質。在高純系統中要用不銹鋼減壓器。 由于砷烷是劇毒和可燃氣體,因此使用和貯存僅可在通風的氣瓶柜、排風柜或有強制通風的房間內。由于它與空氣混合可形成爆炸混合氣,因此應遠離熱源和火源。使用前所有管線、接頭、設備等應徹底檢漏和接地,僅可使用防火花工具和防爆設備。
運輸中鋼瓶閥必項保護和密封。
CGA規定,裝運砷烷的氣瓶必須每5年試一次水壓。
在砷烷氣瓶上禁止使用泄壓部件。
劇毒氣體,TLV-TWA:0.05×10-6(0.2mg/m3)。吸入250×10-6的砷烷氣可立即致死。
由于中毒癥狀可滯后發生,所以對于懷疑吸入砷烷的情況下,應保持醫療觀察48h。
中毒癥狀包括劇烈的頭痛、惡心、黃疸癥、少尿和無尿,尿可變成暗色和帶血,皮膚可變成黃色或金屬金,眼睛可能由藍變白。