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組分名稱及濃度范圍:
組分名稱及濃度范圍
平衡氣
CO 300 ~ 500ppm H2 80 ~ 1000ppm CO2 500 ~ 1000ppm CH4 1000ppm ~ 1% C2H4 30 ~ 500ppm C2H6 30 ~ 500ppm C2H2 30 ~ 500ppm
N2或Ar
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